WCM   Wafer Charging Monitors, Inc.

ChargeMap® 소프트웨어  

특허를 받은 재사용 가능한 CHARM®-2 웨이퍼 차징 모니터를 성공적이고 안전하게 현장 적용하기 위한 핵심 요소는 WCM의 독점 ChargeMap® 데이터 분석 및 디스플레이 소프트웨어입니다. 이 소프트웨어에는 특허를 받은 CHARM®-2 데이터 변환 기술이 사용되었습니다. "각 적용에 적합한" 전용 데이터 분석 환경을 제공하기 위해 개발된 ChargeMap®은 CHARM®-2 결과를 사용자가 조작할 수 있게 해주며, 생산성은 그 무엇과도 비교할 수 없고 사용이 아주 간편합니다.

입증된 기술

ChargeMap®은 WCM이 이온 주입기, 레지스트 애셔(ahers: 플라즈마 식각 장치), 플라즈마 에칭기 및 플라즈마 증착 장치에서의 수천 번에 걸친 CHARM®-2 실험을 분석하기 위해 사용해 왔습니다. ChargeMap®은 표준 파라메트릭 테스터로부터 CHARM®-2 데이터 파일을 읽어 들이며, 사용자가 표면 기판 전압의 웨이퍼 맵, UV 도우즈, 차지 플럭스 및 J-V 특성(IC 프로세스 장비에서 차징을 일으키는 추진력)을 생성하는 것을 가능하게 합니다.

사용의 용이성

특수 용도의 ChargeMap® 소프트웨어는 WCM이 많은 고객들의 지원을 받아서 교정한 디스플레이 기능 및 높은 생산성의 데이터 분석을 제공합니다. WINDOWS®에서와 비슷한 풀다운 메뉴를 채택하였기 때문에 사용자 인터페이스가 직관적이고, 배우기 쉬우며, 사용하기 편하게 최적화되어 있습니다.

저가의 하드웨어/소프트웨어 플랫폼에서 실행

ChargeMap® 소프트웨어는 운영 체제가 WINDOWS®-95 또는 WINDOWS®-98인 IBM 호환 PC(최소 메모리 8MB)에서 실행되며, WINDOWS® 지원 프린터를 사용할 수 있습니다.

표준형 파라메트릭 테스터와 호환

정확하고 신뢰할 만한 CHARM®-2 결과를 보증하고 테스트 자원을 유연하게 사용할 수 있도록, ChargeMap®은 WCM이 승인한 표준형 파라메트릭 테스터 모델로부터 CHARM 데이터 파일을 읽어 들이도록 만들어졌습니다. 권장되는 선택 사항 목록이 필요하시면 WAFER CHARGING MONITORS, INC.로 문의하시기 바랍니다.


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