WCM   Wafer Charging Monitors, Inc.

GMR 헤드 제조 서비스를 제공합니다!  

Wafer Charging Monitors, Inc.는 GMR 헤드 제조 수율에 악영향을 미칠 수 있는 wafer charging 문제를 없애 드립니다. 또한 당사는 반도체 IC 및 장비 제조업체들이 wafer charging으로 인해 어려움을 겪지 않도록 도움을 주면서 많은 경험을 축적해 왔으며, 이제 GMR 헤드 제조업체에 대한 지원도 제공하고 있습니다.

GMR 헤드 제작에서의 Wafer Charging

반도체 IC 및 장비 산업의 오랜 골치거리인 wafer charging 문제가 이제는 디스크 드라이브 업계의 마그네틱 헤드 제조에도 영향을 줄 수 있습니다. 자이언트 마그네토레지스트(giant magnetoresistive) 헤드에는 보다 얇은 필름과 보다 향상된 공정이 필요하기 때문에, 헤드 제조업체들은 제작 공정에서 wafer charging으로 인한 수율 감소 위험에 더 많이 직면하게 되었습니다.

민감한 공정 및 제작 장비

마그네틱 헤드를 만드는 데 사용된 재료, 공정 및 장비는 반도체 업계에서 사용하는 것과 유사합니다. 그 예로는 초 박막 컨덕터와 유전체 필름 등의 재료, 그리고 플라즈마 기반 또는 이온 기반 시스템에 의존하는 공정/장비가 있습니다. 반도체 업계는 경험을 통해 종종 그러한 공정/장비에도 wafer charging이 발생하며, 발생 정도에 따라 프로세스로 인한 손상과 낮은 제품 수율 폭이 달라집니다. 또한 GMR 헤드 제조업체도 그와 유사한 상황에 직면할 수 있습니다.

GMR 헤드 제조 수율 개선

회사의 GMR 헤드 제조 수율이 낮다면 wafer charging이 그 원인일 수 있습니다. 이 현상은 CHARM®-2 monitor wafer를 사용하면 쉽게 확인할 수 있으며, 이 monitor wafer에는 각각의 공정 단계에서 wafer charging을 철저히 특성화하고 공정에서 생기는 손상 가능성을 상세하게 평가해주는 다양한 센서가 포함되어 있습니다. 공정에서 손상이 발생한다고 판단되면 CHARM®-2로 모니터한 일련의 공정 실험을 통해 wafer charging 손상을 없앨 수 있습니다.

추가 정보 및 지원

wafer charging 문제와 CHARM®-2 monitor wafers에 대해 더 자세히 알려면, 이 웹사이트의 FAQ 페이지를 보십시오. 이 웹 사이트에서는 PDF 형식의 다운로드 가능한 자습서(Tutorial)와 최근 조사, 기술 메모 및 요약, 그리고 기타 다른 많은 출판물들이 포함되어 있습니다. 질문이나 새로운 추가 정보가 필요하시면, 언제든 전화 (650-851-9313)나 전자우편(info@charm-2.com)을 주십시오. 또한 기꺼이 귀사를 방문하여 프리젠테이션을 해 드릴 수도 있습니다.

 

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